| 參數(shù) | 數(shù)值 |
| 激光器 | 飛秒、皮秒激光器，波長1030nm/532nm 納秒激光器，波長1064nm |
| 加工幅面 | 1200*600mm（可定制小幅面或更大加工幅面，已預(yù)留小面積300*300mm加工幅面） |
| 聚焦光斑 | ≥10μm/≥20μm |
| 激光器頻率調(diào)節(jié)范圍 | 20-5000KHz?/100-500KHz |
| 刻蝕最小線寬 | ≥10μm/≥20μm |
(最大可以去除95%以上的氧化物鍍層) | |
| 整機精度 | ±15μm/±20μm |
| 最小線間距 | ≥10μm/≥20μm |
| 工作臺定位精度 | ±2μm |
| 工作臺重復(fù)精度 | ±1μm |
| CC自動定位精度 | ±2μm |
| 刻蝕速度 | <3000mm/s |
| 設(shè)備尺寸 | 1950mmLx1700mmWx1960mmH |
| 設(shè)備重量 | 3500kg |
| 功率消耗 | <3000W |
| 可處理文件格式 | 標準CAD2004版DXF文件 |